Вакуумный пост ВН-3000

Информация

• Категория: Устройства контроля доступа
• Компания:ООО «Группа компаний "Объединенные Комплексные Системы"»
• Бренд:
• Стоимость: 0 Р
• Описание:
  Технические характеристики Область применения Приборы электронной техники, материаловедения, микроэлектроника, физика и другие отрасли, а также отработка отдельных технологических операций по напылению. Конструктивные особенности Установка выполнена в виде двух стоек – электрической и аналитической. Стойки располагаются рядом и соединяются между собой питающими, силовыми и сигнальными жгутами. В электрической стойке расположены: – блок распределительный; блок питания высоковольтный блок питания магнетрона RF блок питания магнетрона DC блок управления блок питания турбомолекулярного насоса; – ноутбук В аналитической стойке расположены вакуумная система рабочий объем внутри камерная оснастка турбомолекулярный насос система напуска газа в рабочий объем система водяного охлаждения насоса, магнетрона, ЭЛИ Вакуумная система работает в автоматическом режиме и позволяет получить вакуум в закрытом рабочем объеме без вмешательства оператора. В рабочий объем устанавливаются следующие устройства механизм поворота осветитель устройство ионного травления/очистки (анод) устройство осаждения и нагрева электронно-лучевой испаритель магнетрон RF (максимальное количество магнетронов – до 6 шт) Возможно доукомплектование установки кварцевым измерителем толщины КИТ. Установка обеспечивает предельное остаточное давление в рабочем объеме, не более, Па 2х10^-3 Нагреватель в устройстве осаждения и нагрева обеспечивает температуру в районе подложки, не менее, °C 300 Время нагрева до температуры 300 °С, не более, мин 30 Устройство осаждения и нагрева обеспечивает частоту вращения подложки, об/мин 5-15 Напряжение на выходе блока питания высоковольтного (без нагрузки), кВ 0-4 Максимальный ток пучка, мА 200 Максимальный ток блока питания накала катода, А 20 Мощность блока питания магнетрона RF, Вт 0-500 Максимальное напряжение блока питания магнетрона DC (без нагрузки), кВ 1,2 Ток блока питания магнетрона DC, мА 0-1000 Максимальный ток устройства ионного травления/очистки, мА 100 Установка обеспечивает откачку рабочего объема от атмосферного давления, Па 6х10-3 Время откачки рабочего давления, мин 45 Индикация давления в рабочем объеме, Па от 1,0х10^5 до 1,0х10^-4 Диаметр мишени, мм 42-104 Габариты стойки аналитической, мм 900х610х1620 Габариты стойки электрической, мм 600х600х2160 Масса, кг 420 Сертификат и паспорт Запросы на сертификат и/или паспорт, описание и/или дополнительную техническую и справочную информацию на просим направлять на электронную почту info@mon24.su Комплект поставки Вакуумный пост ВН-3000 Паспорт изделия Сертификат на или отказное письмо Накладная на отгрузку Счет-фактура Поставщик: ООО «ГК «ОКС» Наличие и актуальную цену смотрите на странице товара https://mon24.su/product/vakuumnyj-post-vn-3000/