Установка обеспечивает предельное остаточное давление в рабочем объеме, не более, Па 2х10^-3 Нагреватель в устройстве осаждения и нагрева обеспечивает температуру в районе подложки, не менее, °C 300 Время нагрева до температуры 300°С, не более, мин 30 Устройство осаждения и нагрева обеспечивает частоту вращения подложки, об/мин 5-15 Напряжение на выходе блока питания высоковольтного (без нагрузки), кВ 0-4 Максимальный ток пучка, мА 200 Максимальный ток блока питания накала катода, А 20 Мощность блока питания магнетрона RF, Вт 0-500 Максимальное напряжение блока питания магнетрона DC (без нагрузки), кВ 1,2 Ток блока питания магнетрона DC, мА 0-1000 Максимальный ток устройства ионного травления/очистки, мА 100 Установка обеспечивает откачку рабочего объема от атмосферного давления, Па 6х10-3 Время откачки рабочего давления, мин 45 Индикация давления в рабочем объеме, Па от 1,0х10^5 до 1,0х10^-4 Диаметр мишени, мм 42-104 Габариты стойки аналитической, мм 900х610х1620 Габариты стойки электрической, мм 600х600х2160 Масса, кг 420 Документация Запросы на уточнение технических характеристик , сертификат и/или паспорт, описание и/или иную техническую/справочную информацию направляйте на электронную почту info@оздс.рус Комплект поставки Вакуумный пост ВН-3000 Паспорт изделия/Руководство по эксплуатации Сертификат или отказное письмо на Комплект бухгалтерских документов Поставщик: ООО «ОЗДС»